夏秋之交，位于潁東化工園區(qū)的安徽中科昊海氣體科技有限公司一角，一輛氣罐車(chē)正?？砍錃猓瑤滋旌?，這輛車(chē)將載著5000立方米氖氣，運(yùn)往廣東一家電子廠(chǎng)。
作為一家涵蓋高純稀有氣體、高純氫氣、液氫等產(chǎn)品的綜合性氣體公司，看中昊源化工豐富的尾氣資源，中科昊海于2019年在潁東“安家”。“我們依托中科院理化所的技術(shù)支撐，斥資上馬高純特種電子氣體項(xiàng)目和高端氫能項(xiàng)目，填補(bǔ)了安徽生產(chǎn)高純度稀有氣體企業(yè)的空白。”企業(yè)總經(jīng)理張峰介紹。
經(jīng)過(guò)緊張籌備建設(shè)，中科昊海一、二期相繼建成投產(chǎn)。其中，一期為高純特種電子氣體項(xiàng)目，主要生產(chǎn)氖、氦、氪、氙等高純特種電子氣體，應(yīng)用于電子芯片制造、航空航天、軍工等領(lǐng)域，有效緩解了我國(guó)目前高端電子特氣嚴(yán)重依賴(lài)國(guó)際進(jìn)口的局面。二期為高純氫和液氫等高端綠色氫能項(xiàng)目，配套氫液化、液氫儲(chǔ)運(yùn)及加氫站的全套解決方案，可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)高純氫640萬(wàn)立方米、液氫500噸。
就在兩個(gè)多月前，該企業(yè)生產(chǎn)的液氫得到專(zhuān)家組測(cè)試驗(yàn)證——今年6月中旬，來(lái)自上?？萍即髮W(xué)、中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所、中國(guó)科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院的多位制冷與低溫工程領(lǐng)域?qū)＜引R聚阜陽(yáng)，對(duì)由北京中科富海低溫科技有限公司與中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所聯(lián)合研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造，安徽中科昊海氣體科技有限公司應(yīng)用的1.51PD氫液化裝置進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)性能測(cè)試驗(yàn)證。對(duì)液化率、產(chǎn)品仲氫含量、單位液化能耗等測(cè)試后，專(zhuān)家組形成結(jié)論，認(rèn)為企業(yè)氫液化裝置性能指標(biāo)等滿(mǎn)足考核要求。
高純氫是一種終極清潔能源，廣泛應(yīng)用于氫燃料電池車(chē)、加氫站、高端電子制造等領(lǐng)域。其中，液氫可大大降低氫能源儲(chǔ)存和運(yùn)輸成本，推動(dòng)傳統(tǒng)化石能源向清潔能源轉(zhuǎn)變，可作為航天火箭發(fā)射燃料應(yīng)用。去年12月27日，中科昊海1.5噸/天氫液化裝置開(kāi)車(chē)成功，順利產(chǎn)出純度達(dá)99.9999%的液氫，高端液氫實(shí)現(xiàn)了“阜陽(yáng)造”。而此次測(cè)試驗(yàn)證，標(biāo)志著中科昊海液氫生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品都達(dá)到了相關(guān)水平，為下一步在航空航天領(lǐng)域應(yīng)用夯實(shí)了基礎(chǔ)。
以高端技術(shù)與設(shè)備為依托，短短幾年，中科昊海的優(yōu)質(zhì)氣體產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)產(chǎn)銷(xiāo)兩旺。截至目前，企業(yè)氣氫產(chǎn)量躋身全省前三，銷(xiāo)往省內(nèi)合肥、蕪湖、蚌埠等地。氪、氙等高純特種電子氣體作為光刻機(jī)的保護(hù)器，供應(yīng)臺(tái)積電、中芯國(guó)際等知名企業(yè)。
尤為值得一提的是，采訪(fǎng)時(shí)，記者在廠(chǎng)區(qū)鮮見(jiàn)工人忙碌的身影。張峰介紹，企業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化程度較高，各生產(chǎn)環(huán)節(jié)信息會(huì)定時(shí)傳送到中控室進(jìn)行分析，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)即可調(diào)度生產(chǎn)。
中科昊海廠(chǎng)區(qū)西側(cè)，更長(zhǎng)遠(yuǎn)的謀劃在這里“起筆”——投資5億元的三期集成電路和光電材料電子特氣項(xiàng)目，將于9月份開(kāi)工建設(shè)，計(jì)劃明年6月份建成投產(chǎn)。項(xiàng)目利用昊源化工尾氣資源，采用合成、低溫分離、提純等技術(shù)，生產(chǎn)電子級(jí)高純一氧化碳、電子級(jí)高純二氧化碳、電子級(jí)高純氨及電子級(jí)混配氣，進(jìn)一步延伸產(chǎn)業(yè)鏈條。
“三期產(chǎn)品將廣泛應(yīng)用于集成電路光刻機(jī)配套、OLED顯示面板制造工藝、集成電路制造中的清洗工藝和蝕刻工藝等，市場(chǎng)前景非常廣闊?！睆埛逭f(shuō)。
阜陽(yáng)日?qǐng)?bào)記者 徐立成 通訊員 武艷/文 阜陽(yáng)日?qǐng)?bào)記者 龐誠(chéng)/攝
網(wǎng)絡(luò)舉報(bào)中心 